ผลการควบคุมกำลังของพลาสมาโดยการเปลี่ยนแปลงแรงดันไฟฟ้า ความถี่ และการปรับเปลี่ยนความหนาแน่น ของพัลส์ที่ความดันบรรยากาศ

Abstract

บทคัดย่อ          พลาสมาดิสชาร์จชนิดข้ามฉนวนที่ความดันบรรยากาศสามารถสร้างได้โดยจ่ายสนามไฟฟ้าแก่ห้องพลาสมา การควบคุมกําลังของพลาสมาสามารถทําได้โดยการเปลี่ยนแปลงคุณลักษณะของสัญญาณ ซึ่งทําได้หลายวิธี เช่น การเปลี่ยนแปลงแรงดันไฟฟ้า การเปลี่ยนแปลงความถี่ อีกวิธีที่สามารถทําได้คือ การเปลี่ยนแปลงจํานวนคลื่นของแรงดันไฟฟ้าที่จ่ายแก่ขั้วไฟฟ้าในหนึ่งหน่วยเวลา วิธีนี้เรียกว่า การปรับเปลี่ยนความหนาแน่นของพัลส์ การควบคุมกําลังโดยใช้เทคนิคการปรับเปลี่ยนความหนาแน่นของพัลส์ คือการสร้างสัญญาณไฟฟ้ากระแสสลับและสัญญาณแรงดันศูนย์ เพื่อควบคุมแรงดันไฟฟ้าเฉลี่ยของสัญญาณขาออก สําหรับงานวิจัยนี้ เมื่อใช้การควบคุมโดยการเปลี่ยนแปลงแรงดันไฟฟ้า สามารถควบคุมกําลังของพลาสมาได้ตั้งแต่ 1 ถึง 33 วัตต์ โดยพิจารณาที่แอมพลิจูดของแรงดัน ไฟฟ้าเดียวกันคือ 15 กิโลโวลต์ แต่พลาสมาจะเกิดไม่สม่ำเสมอที่กําลังของพลาสมาต่ำ เมื่อใช้การควบคุมด้วยความถี่จะได้กําลังของพลาสมา ตั้งแต่ 20-42 วัตต์ และสามารถสร้างพลาสมาที่สม่ำเสมอได้แต่เปลี่ยนแปลงช่วงกําลังของพลาสมาได้สั้น เทคนิคการปรับเปลี่ยนความหนาแน่นของพัลส์สามารถสร้างพลาสมาที่มีความสม่ำเสมอตลอดช่วงการเปลี่ยนแปลงกําลังของพลาสมาตั้งแต่ 1 ถึง 33 วัตต์ ABSTRACT          Atmospheric Dielectric barrier discharge plasma at atmospheric pressure was generated by applying anelectric field to a reactor. The plasma discharge power was controlled with various formations of the signal input, thus changing potential and frequency. Another way to control the plasma power can be done by varying the number of pulse signal that applied to parallel electrodes in unit time, which is called pulse-density-modulation (PDM). The PDM technique creates an ac-voltage state and a zero state to control the average output voltage. In this research, the plasma discharge power of 1 to 33 watts was used by adjusting the voltage from 10 kVp to 15 kVpbut the plasma was unstable at low power. In the power range of 20 to 42 watts the steady state plasma discharge can be achieved by adjusting frequency with a peak voltage of 15 kVp but the steady state can be created only in a short range of the power control. However, PDM can be used to control the steady state plasma with a wide range of the plasma discharge power from 1 to 33 watts.